• 雷射断层检查

雷射断层检查


使用Tomography Inspection技术,量测到样品的分层影像

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使用SSI独家的Tomography Inspection技术,对多层结构元件进行穿透式分层扫描

适用于多层结构检查、材料厚度、结构瑕疵、表面平整度等相关需求进行检测。

适用样品范围GaAsLCDPolished wafer with gluePolished waferRough waferMultiple pieces of glassMulti-layer thin filmWafer with tapGlue with bubble、

Wafer/polymer/glass plateMolding compound on wafer



GaAs结构扫描

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LCD defect判定

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石英震荡器 双晶失效

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