• 半导体先进微量精密涂布

半导体先进微量精密涂布

型号 : SL series

FOR SIP / WAFER LEVEL MINI UNDERFILL / EXTREME FINE SILVER PASTE DISPENSING PATH / NARROW GAP FILLING
SL是专为半导体微流体封装设计的高精度涂布设备,主要应用包括微细沟槽的银胶充填、微量底部填充、微细线条涂布及其他精密涂胶应用。 SL在运动轨迹控制的重复性及精确度都有极为杰出的表现,能精确的填充银胶在170um宽的缝隙内,亦能将仅0.2nl 的胶水均匀分布在涂布的不管是直线、曲线、圆弧、方形或任何路径上,SL具备涂布12”wafer的所有硬体设计及搬运输送装置,而且体积轻巧及具竞争力的价格。
精密的硬体规格
SL是SSI研发团队使用软体分模拟分析所设计的特殊机台鞍座及龙门架构,所组成的重量轻、钢性强,在高速运作仍能达到±1um的重复精度及±2um的位置精度的精密机台,配合SSI先进影像软体SL成为一部高效率及高投资报酬率的半导体专用的精密涂布设备。
先进的涂胶专用软体
SL机台不仅具备精密的硬体规格,更具备先进的运动控制及影像处理整合软体V2K,能处理任何困难复杂的点胶应用,包括点、直线、不规则曲线、3D立体曲面、多种辩识影像处理、滤镜及光学照明技术。 V2K还具备提高教导及点胶效率及品质的各种软体功能 :
■ 支援SECS/GEM规范要求
■ 闭回路流量控制及自动调整
■ Wafer密集晶片Underfill点胶参数快速自动设定设定单一晶片的涂胶参数,软体会自动运算规划其他晶片个别点胶参数
■ 渗胶延迟时间
设定单一晶片Underfill渗胶的时间,软体会自动计算其他晶片的渗胶延迟时间
■ 涂胶与运动同步的变频技术
确保涂胶路径完全一致的涂胶高度,包括头尾及交接处
■ 即时飞奔测高及涂胶高度自动补偿
■ 飞奔对位辨识
■ 远端教导
适用各种涂胶运用的点胶技术
 高速压电阀
 高黏度流体体积式螺杆阀
 极小点<100 um用半接触式阀
 锡膏专用喷射阀
 低反射精密喷雾阀
 10:1高精度双液混合及涂胶
 超音波薄膜喷雾阀
 各种高精度气压阀

涂胶后精密光学检测

SSI的影像处理技术不但能解决精密的对位需求, 也能解决涂胶后的胶水检测,包括胶宽、胶高、气泡、散点、溢胶的正确检出率可达98~99%, 远高于使用标准检测软体的效果,这归功于SSI使用自行开发的软体,能根据制程应用修改软体及演算法。

sl-series.png


Specifications:

行程 X-Y-Z Max Travel
500mm*700mm*100mm
點膠行程 X-Y Dispensing Area
400mm*500mm*100mm
本體外觀尺寸 Dimensions
840mm(W)*1300mm(D)*1510mm(H)
含周邊外觀尺寸 Dimensions
900mm(W)*1540mm(D)*1700mm(H)
重量 Robot Weight:
1700 kg
速度 XYZ Speed(mm/sec)
500, 500, 250mm/sec
加速度 XYZ Acceleration(mm/sec^2)
0.25G, 0.25G, 0.25G
反覆精度 Repeatability(XYZ ±um @3Sigma)
1, 1, 3
位置精度 Position Accuracy(XYZ ±um @3Sigma)
2, 2, 6
解析度 Resolution(XYZ um)
0.1, 0.1, 0.1
X軸組成
龍門單軸有鐵心線馬
Y軸組成
龍門單軸有鐵心線馬
Z軸組成
100W伺服馬達,螺桿導程5mm
單輸送規格
重5KG, 寬最大520mm, 厚最大30mm
雙輸送規格
重5KG, 寬最大220mm, 厚最大30mm
Stage
單站真空加熱(3站真空加熱需外置加熱站)


先进的涂胶专用软体
SL机台不仅具备精密的硬体规格,更具备先进的运动控制及影像处理整合软体V2K,能处理任何困难复杂的点胶应用,包括点、直线、不规则曲线、3D立体曲面、多种辩识影像处理、滤镜及光学照明技术。 V2K还具备提高教导及点胶效率及品质的各种软体功能 :
■ 支援SECS/GEM规范要求
■ 闭回路流量控制及自动调整
■ Wafer密集晶片Underfill点胶参数快速自动设定设定单一晶片的涂胶参数,软体会自动运算规划其他晶片个别点胶参数
■ 渗胶延迟时间
设定单一晶片Underfill渗胶的时间,软体会自动计算其他晶片的渗胶延迟时间
■ 涂胶与运动同步的变频技术
确保涂胶路径完全一致的涂胶高度,包括头尾及交接处
■ 即时飞奔测高及涂胶高度自动补偿
■ 飞奔对位辨识
■ 远端教导
适用各种涂胶运用的点胶技术
 高速压电阀
 高黏度流体体积式螺杆阀
 极小点<100 um用半接触式阀
 锡膏专用喷射阀
 低反射精密喷雾阀
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 超音波薄膜喷雾阀
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